電子信息化時代，電子行業在飛速發展，電子廠在生產加工過程中產生的廢氣主要有苯、甲苯、二甲苯、丙酮、丁酮、乙酸乙酯等有機廢氣，不達標排放對人體是有害物質。目前在電子行業經常使用的有機廢氣處理技術包括液體吸收法、活性碳吸附法、高溫焚化法、觸煤焚化法、以及生物分解法等。下面我們介紹一種比較有效實用的電子廠廢氣處理設備工藝。

低溫等離子體技術：針對電子廠廢氣的特點低溫等離子體設備組合性強，可以竄并聯混合應用，在處理高濃度異味氣體時能發揮明顯優勢。設備使其電離、解離和激發，然后便引發了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子安全物質，或使有毒有害物質轉變成無毒無害或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。

電子廠在采用低溫等離子廢氣處理設備實際運行，凈化效率高，無二次污染，發生裝置和催化氧化裝置有機地結合在同一凈化設備內，最大限度地發揮了復合凈化地效能，使之滿足占地小，重量輕，能耗少，效率高地設計要求。